v0.27.0 안내 · 작업 흐름
비평탄 공정 3D · step·hole·coverage 검사
층마다 위치별 높이·국부 두께·제출 체적을 검토합니다.
학습 체크는 이 브라우저에만 저장합니다. 엔진의 PASS·실행·제조 판정과 관계없습니다.
시작 전에
- 명시적 단위·재료·출처를 가진 process JSON 또는 지원 VTU+sidecar
따라 하기
공정 3D에서 examples/process/step-keyhole.process.json 또는 대응 VTU·setup을 가져옵니다.
좌표 nm/µm·재료 film/bulk/void·국부 두께·기준막·domain·measurement/simulation/demo 출처를 확인합니다.
XYZ 단면을 이동해 step 모서리·hole 벽·바닥의 얇아진 film과 명시된 void를 봅니다.
전체 검사를 실행해 제출 cell 전량의 두께/피복률과 face-connected void 체적을 검토합니다. ROI·미제출 체적·unknown은 따로 읽습니다.
위험 위치·CSV·PNG·체적 JSON/뷰어 bundle을 저장하고 재개방해 같은 설정으로 다시 검사합니다.
확인할 결과와 한계
- GDS 단층 extrusion과 실제 위치별 Z 체적은 다릅니다.
- 지원 VTU는 single Piece inline ASCII linear tetra type=10입니다. 해상도보다 작은 결함은 검사할 수 없습니다.
막혔을 때
- 겹침·퇴화·non-manifold·중복 node 오류는 실제 mesh를 수정합니다. 자동으로 형상을 메우지 않습니다.
- 제출되지 않은 빈 부분을 폐쇄 공극으로 추정하지 않습니다. mesh 수렴과 실측 calibration은 별도입니다.