v0.27.0 안내 · 작업 흐름
증착·식각·CMP · 공정 순서 계산
초기 구조와 조건을 바꿔 단계별 형상 변화를 비교합니다.
학습 체크는 이 브라우저에만 저장합니다. 엔진의 PASS·실행·제조 판정과 관계없습니다.
시작 전에
- 공정 3D 초기 구조·재료·격자·경계 조건
따라 하기
공정 3D → 공정 시퀀스 계산에서 초기 구조와 voxel 크기를 정합니다.
conformal/방향성 증착, 선택적 isotropic/방향성 식각, CMP 순서를 추가하고 속도·시간·재료·입사각/평면 조건을 입력합니다.
실행 후 단계별 체적·얇은 film·void·위험 위치를 봅니다. 같은 layer가 높이에 따라 어떻게 덮이는지 단면으로 비교합니다.
h·2h 격자 비교를 실행해 해상도 민감도를 읽습니다. 얇은 sub-grid film은 unresolved 상태를 확인합니다.
선택 체적·모든 단계·VTU·recipe JSON을 저장하고 재개방합니다. 평면 속도 fit은 입력 자료의 범위에 한정합니다.
확인할 결과와 한계
- 형상 예측 계산은 장비·화학·plasma·전기 coupled PDE나 calibration된 TCAD가 아닙니다.
- 기본 ray shadowing과 국부 단일 재방출 등 사용 모델·경계를 확인합니다.
막혔을 때
- 작은 구조가 사라지면 grid를 낮추고 h·2h를 비교합니다. 단순 고해상도가 실측 정확도를 보장하지 않습니다.
- 결과의 user/demo/simulation/measurement 출처를 유지합니다.